はい、可能です。

ディレイ・タイムの単位 （Delay Unit） をマイクロ・セカンドにすることで、
20 マイクロ・セカンド（1/50,000 秒）の分解能でディレイ・タイムの設定をすることができます。

ご参考 ：
ディレイ・タイムの単位（Delay Unit）をミリ・セカンドに設定した場合は、1 msの分解能での設定となります。